电晕放电法制取臭氧的原理
电晕放电法（（无声放电法或辉光放电无声放电法或辉光放电））就是一种干燥的含氧气体或氧气流过电晕放电区产生臭氧的方法或氧气流过电晕放电区产生臭氧的方法。。虽然若干机理都可能同电晕内的臭氧形成有关内的臭氧形成有关，但e+O2e+O2→→2O+e的反应是主要的的反应是主要的。。利用高速高能电子轰击氧气电子轰击氧气，使其分解成氧原子使其分解成氧原子。。高速电子具有足够的能量（6-7eV7eV）），臭氧杀菌发生器，紧接着通过三体碰撞反应形成臭氧O+O2+MO+O2+M→→O3+M，O3+M，式中式中M为气体中其它任何气体分子它任何气体分子，与此同时原子氧也同臭氧反应形成氧O+O3O+O3→→2O2，泳池臭氧发生器，2O2， (e+O3(e+O3→→O+O2+e)O+O2+e)此外电晕内的气体是处于可促进臭氧分解的高温下此外电晕内的气体是处于可促进臭氧分解的高温下此外电晕内的气体是处于可促进臭氧分解的高温下，臭氧发生器，所以净臭氧产量或出口产气组成是形成臭氧和分解臭氧所有反应的总和总和。。
臭氧发生器结构特点
按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，板式臭氧发生器，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远高于开放式。
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